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一種混合等離子效應輔助的槽式波導TE模檢偏器
2021-04-11 00:00:00
云上高博會
http://www.furenw.xyz
關鍵詞：
TE模檢偏器
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種混合等離子效應輔助的槽式波導TE模檢偏器，該檢偏器由下至上依次為硅基襯底、掩埋氧化層、檢偏部件和上包層，其中掩埋氧化層生長于硅基襯底的上表面，上包層覆蓋掩埋氧化層的上表面，檢偏部件水平生長于掩埋氧化層的上表面，并被上包層覆蓋；所述檢偏部件包括輸入波導、過渡波導A、直通波導、過渡波導B，輸出波導和右路直通波導。本發明提供的槽式波導TE模檢偏器具有低插入損耗、高消光比、大制造容差以及大工作帶寬的優點。
項目階段:
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