基于諧振頻率的硅微諧振式加速度計在線溫度補償方法

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本發明公開了一種基于諧振頻率的硅微諧振式加速度計在線溫度補償方法，在零加速度情況下標定出兩諧振梁諧振頻率平方和與其諧振頻率差的單調變化關系曲線，然后在輸入加速度情況下對兩諧振梁諧振頻率和諧振頻率差進行測量，結合先前獲得的關系曲線將溫度引起的諧振頻率差從測量得到的諧振頻率差中減去，完成溫度補償工作。本發明提供的硅微諧振式加速度計溫度補償方法，克服了傳統直接溫度補償方法中溫度場分布的不確定性和熱傳導延遲給補償結果帶來較大偏差的缺陷，能夠實現實時的、高精度的溫度補償。本發明方法的溫度補償成本低，該方案全部基于FPGA實現，不需要額外增加傳感器和引入其它設備，僅利用已有電路器件即可實現。

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