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薄膜材料生長(zhǎng)系統(tǒng)

2021-04-10 00:00:00
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項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
集成電路產(chǎn)業(yè)需要大量高端薄膜生長(zhǎng)設(shè)備,上個(gè)世紀(jì)80年代,MBE作為一種尖端技術(shù),國(guó)外就對(duì)中國(guó)進(jìn)行了技術(shù)封鎖,禁運(yùn)中國(guó)。甚至在今天,MBE仍然屬于美國(guó)對(duì)中國(guó)出口的管制類產(chǎn)品,每一臺(tái)都要經(jīng)過(guò)復(fù)雜的審批過(guò)程。
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