微型集成式固體電解質環境監測氣體傳感器

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一、項目簡介隨著工業化進程的加速推進，人類社會各方面的發展對化石燃料的消耗與日俱增，而由此產生的大氣環境污染問題也愈發嚴重，對人類的生存和健康、自然生態環境造成極大的損害?；诠腆w電解質的氣體傳感器，結合先進的 MEMS 和鍍膜技術，對于 CO 、SO 等污染性氣體濃度的實時監測、防治十分重要。22項目以 Li3PO 、Li3PO -Li SiO 薄膜固體電解質薄膜作為導電介質，研制 CO 、34422SO 等環境監測氣體傳感器。通過固體電解質薄膜的 CO 、SO 氣體傳感器的響應222原理分析，設計了集成式環境監測氣體傳感器，選擇了合適的反應電極材料，結合 MEMS 薄厚膜工藝，采用熱阻蒸發鍍膜工藝沉積 Li PO 固體電解質薄膜，絲網34印刷厚膜技術制備反應電極和加熱電極，完成了集成式微型 CO 、SO 氣體傳感器22的研制、封裝、測試，為工業應用奠定了基礎。微型氣體傳感器可實現 CO 和 SO22氣體的高精度監測，并具有體積小、功耗低、成本低的特點。西安交通大學國家技術轉移中心二、技術指標（性能參數）芯片尺寸封裝方式1.6mm x 1.8mmTO 封裝檢測范圍測量誤差工作電壓傳感

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