一種主動調控節流孔入口氣壓的氣浮支承裝置

先進制造與自動化

本發明公開了一種主動調控節流孔入口氣壓的氣浮支承裝置， 包括氣浮支承本體、氣壓主動調節單元、支承本體檢測單元和驅動控 制單元，氣浮支承本體上設置有進氣孔、節流孔和調節單元安裝孔， 進氣孔的進氣口處和節流孔的出氣口處分別設置有進氣閥和出氣閥； 氣壓主動調節單元與氣浮支承本體之間形成調節腔；支承本體檢測單 元用于實時檢測氣浮支承本體上下運動的速度、加速度和/或氣浮支承 本體相對于其下方氣浮導軌的距離；驅動控制單元用于將檢測裝置所 測得的信號進行濾波、放大及數據處理，生成驅動信號來驅動氣壓主 動調節單元產

試用