一種光學元件支撐參數的蒙特卡洛分析方法及系統

其它領域

本發明公開了一種光學元件支撐參數的確定方法，該方法具體為：確定保證面形精度的最少支撐點數為最優支撐點數，并計算支撐點的理想支撐力；依據理想支撐力定義多個不同支撐力波動水平，計算不同支撐力水平下隨機支撐力引起的鏡片面形變化；統計并檢驗鏡片面形畸變的隨機分布規律，建立不同支撐力水平與光學元件成像質量的映射關系；根據質量控制標準，確定支撐力的波動范圍。本發明基于蒙特卡洛方法，解析不均勻支撐力作用下鏡片面形畸變的隨機分布規律，分析不同隨機支撐力水平對光學元件成像質量的影響，從而確定合理的支撐力波動范圍，為光

未應用