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一種玻璃芯片封裝方法

2021-04-14 00:00:00
云上高博會 http://www.furenw.xyz
關鍵詞: 璃芯片封裝
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所屬領域:
新一代信息技術
項目成果/簡介:

本發明公開了一種玻璃芯片封裝方法,通過在玻璃片的厚度方

向預制貫穿導電金屬極,采用超快激光對玻璃芯片進行激光焊接封裝。

本發明利用超短脈沖激光超強光強特性,在透明介質內會產生非線性

吸收效應并在焦點處熔融,實現在透明材料空間內進行選擇性微焊接。

超短脈沖激光加工的結構尺寸可以突破光學衍射極限,實現小于激光

波長的精密焊接。此外,激光和材料相互作用時間極短,能有效避免

材料因不同熱膨脹系數產生的裂紋和濺射物,有助于提高焊接封裝的<

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