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一種柔性超疏水超疏油結構制備方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.furenw.xyz
關鍵詞：
超疏水超疏油結構
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發(fā)明公開了一種柔性超疏水超疏油結構制備方法，該制備方法包括如下步驟：(1)制作柔性超疏水超疏油結構底層：在基底上旋涂一層負性光刻膠，不用掩膜進行曝光；(2)在步驟(1)曝光后的負性光刻膠上旋涂一層負性光刻膠，利用陣列圖形掩膜進行曝光；(3)結構層光刻膠第二次曝光：采用跟步驟(2)對應的掩模進行套刻曝光；(4)顯影：將上述步驟中曝光后的結構進行顯影；(5)鍍保護層膜：在步驟(4)中得到的結構表面形成一層保護膜；(6)剝離：將經(jīng)過步驟(5)處理后得到的結構從基底上剝離，得到所述柔性超疏水超疏油結構。按
項目階段:
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