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一種薄膜在線激光測(cè)厚系統(tǒng)及方法
2021-04-14 00:00:00
云上高博會(huì)
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關(guān)鍵詞：
激光測(cè)厚
所屬領(lǐng)域:
項(xiàng)目成果/簡(jiǎn)介:
本發(fā)明屬于非接觸式在線測(cè)厚領(lǐng)域，并具體公開了一種薄膜在
線激光測(cè)厚系統(tǒng)及方法，包括大理石框架和設(shè)于大理石框架內(nèi)部的 C
形架，大理石框架內(nèi)頂部及底部設(shè)置有鋼片和導(dǎo)軌；C 形架具有上梁
和下梁，上、下梁之間放置待測(cè)薄膜，上梁上下端部設(shè)置第一、第二
激光位移傳感器，第一、第二激光位移傳感器分別用于測(cè)量各自發(fā)射
點(diǎn)到鋼片及待測(cè)薄膜上表面的距離，下梁上下端部設(shè)置第三激光位移
傳感器和滑塊，第三激光位移傳感器用于測(cè)量待測(cè)薄膜下
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