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通過程序降溫提高金屬氧化物傳感器氣體敏感度的方法
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種提高金屬氧化物傳感器氣體敏感度的方法，
該方法是在潔凈背景氣氛下，將金屬氧化物氣體傳感器在特定工作溫
度(200-400℃)穩定，然后設定降溫速度為 1-50℃/s 范圍內的某一特定
速度，程序降溫到特定低溫(室溫-200℃)，獲得傳感器的電阻隨溫度的
變化曲線 Rair-T，作為基底信號；檢測氣體氛圍下，以相同流程控制
傳感器溫度，獲得傳感器的電阻隨溫度的變化曲線 RGas-T，作為響應
信號；將基
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