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工業激光器
2021-04-14 00:00:00
云上高博會
http://www.furenw.xyz
關鍵詞：
工業激光器
所屬領域:
項目成果/簡介:
成果創新點
光柵尺寸在國際上居于領先地位，最大達到了 1400mm，
遠超對手的 940mm；研制了一系列國內首臺(套)具有自主知
識產權的米量級光柵研制工藝關鍵設備；在國際上首創了
曝光拼接方法，實現了利用小口徑曝光系統，制作出了遠
大于曝光系統口徑的光柵；掌握了脈沖壓縮光柵設計、工
藝容差分析和工藝過程控制技術，通過對曝光監測、顯影
監測和刻蝕監測來保證光柵制作工藝的穩定性，保證了光
項目階段:
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