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一種石墨烯圖形化摻雜方法
2021-04-13 00:00:00
云上高博會
http://www.furenw.xyz
關鍵詞：
石墨烯圖形化摻雜方法
所屬領域:
項目成果/簡介:
本發明公開了一種石墨烯圖形化摻雜方法，包括如下步驟：（1）
將氦氣與摻雜氣體混合作為工作氣體導入等離子體發生裝置中，施加
高壓脈沖電壓，在工作氣體中放電產生室溫常壓等離子體，將形成的
等離子體由引導管的噴嘴導出，形成微等離子體射流；（2）將噴嘴對
準石墨烯薄膜的指定位置，用微等離子體射流對石墨烯薄膜進行輻照，
將工作氣體的活性原子摻入到被輻照的區域，在二維平面內移動微等
離子體射流或石墨烯薄膜，實現對石墨烯的圖形化摻雜。該方法可有
效地將雜質原子摻入到石墨烯的骨架位置上，且不會對石墨烯的原本
結構產生破壞，摻雜過程簡單易行，設備成本低廉，可實現大規模生
產。
項目階段:
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