多自由度精密位移平臺

高端裝備制造

多自由度精密位移平臺由壓電馬達驅動，包含傳感器、驅動器和控制器等部件，是精密儀器運動控制系統的核心部分，也是精密加工設備、醫療設備、微電子制造檢測設備、測量儀器、印刷設備、生物醫療設備、自動化生產線的關鍵組件。其壓電馬達具有高分辨率、小尺寸、低能耗等特點，其運動控制部分采用先進的EtherCAT（通用超高速以太網現場總線）方案，使系統不僅更簡潔、更靈活，還具有更好的實時性。

本項目產品主要針對醫療設備、精密測量設備和微納米加工市場，可應用于高端微電子裝備、精密儀器儀表、計算機、工業控制系統、航空航天、智能機器人等領域。主要客戶為光學,電子顯微鏡制造商,DNA、細胞及組織檢測設備制造商,納米材料研究及生產單位。

多自由度精密位移平臺重復定位精度：優于1.0μm，最小步長：優于0.1μm，驅動方式：單相脈沖， 最大速度： 大于200mm/s， 最大加速度：2g， 最大行程：300mm，可多軸同步驅動：控制時延時不超過100μs。