寬量程MEMS風速風向傳感器設計與制造關鍵技術及應用

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"該成果獲2018年度高等學校科學研究優秀成果獎（科學技術）技術發明類一等獎。1. 針對MEMS風速風向傳感器低風速誤差大、高風速難以測量的問題，發明了風速風向傳感器深槽隔熱結構，降低了襯底橫向熱傳導，提高了靈敏度，降低了測量誤差，擴大了傳感器的量程。 2. 針對MEMS風速風向傳感器高風速難以測量的問題，建立了傳感器系統級模型，實現了閉環控制；提出了風速風向傳感器的溫度自平衡測控方法，實現了60m/s的量程，解決了長期以來風速風向傳感器量程難以提高的技術難題。 3. 針對MEMS風速風向傳感器野外工作防護技術問題，發明了風速風向傳感器的陶瓷圓片級倒裝封裝技術，提出了導熱凸點與導電凸點結構及工藝技術；發明了傳感器嵌入式組裝結構，突破了傳感器野外工作的可靠性技術瓶頸。 4. 針對MEMS風速風向傳感器受環境溫度、濕度影響問題，在國際上首次建立了風速風向傳感器的濕度效應模型；基于傳感器材料與結構的溫度特性，建立了風速風向傳感器溫度效應模型，保障了傳感器長期工作的穩定性。 "

小批量或小范圍應用