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MEMS?壓力傳感器
所屬領域:
項目成果/簡介:
已有樣品/n已完成針對低、中、高壓（10kPa-40MPa）MEMS 壓力芯片的原型器件開發；能 夠針對不同應用領域的 MEMS 壓力芯片進行優化設計，解決提高靈敏度和降低非線 性、芯片長期工作穩定性的關鍵技術難題；原型芯片的研發技術符合工程量產化技 術要求，易于快速轉化和量產；與國外知名公司產品相比，技術指標相當，部分指 標如靈敏度溫漂系數相比優異。 MEMS壓力傳感器可應用于工業類儀器儀表、油井勘探、工業自動化控制中壓力 監測、可穿戴、智慧醫療領域壓力測量、汽車電子等領域。年需求量可達數千萬只。
項目階段:
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