基于多足旋轉壓電驅動器實現的跨尺度驅動激勵方法

新一代信息技術

多足旋轉壓電驅動器及其實現跨尺度驅動的激勵方法,屬于壓電驅動技術領域.解決了現有壓電驅動器的驅動方法在具備快速,大行程響應能力的同時,難于兼具高精度,納米尺度定位功能這一突出問題.本方法基于多足旋轉壓電驅動器的兩組彎振壓電陶瓷實現的,并根據目標輸出位移選擇三種激勵模式之一,兩種激勵模式的組合或者三種激勵模式的組合來實現不同位移尺度的輸出,所述激勵模式包括交流連續激勵模式,脈沖步進激勵模式和直流微驅動模式,使得驅動器不僅具備快速,大行程響應能力,同時具備高精度,納米尺度定位功能,最終實現真正的跨尺度,超精密驅動.它用于壓電驅動領域中實現跨尺度,超精密驅動.